• MW-700

MW-700

700x700 mm Panel Level MW Plasma Cleaning

MW-700 為面板級應用的全自動電漿處理系統。最大產品尺寸可達700x700 mm,適合加工扇出型面板或是FPC/PCB板材等大型面板應用。

  • 應用:
    • 封膠前的表面清潔與活化
    • 層壓絕緣膜之前的表面清潔和活化 
    • 減薄聚合物薄膜,例如 ABF、PI 等電漿去渣膠:雷射鑽孔後,清除EMC殘留物
    • 電漿去渣膠:雷射鑽孔後去除環氧模壓樹脂(EMC)殘餘物 
    • 去除光阻或聚合物的殘留物
  • 特色
    • 微波電源產生高密度電漿物種提高處理速度
    • 無電極電漿源可消除靜電損壞的風險(ESD)
    • 脈衝模式操作可降低加工溫度
    • 可選配自動化、SECS/GEM