MW-600 為面板級應用的全自動電漿處理系統。最大產品尺寸可達600x600 mm,適合加工扇出型面板或是FPC/PCB板材等大型面板應用。
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應用:
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封膠前的表面清潔與活化
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層壓絕緣膜之前的表面清潔和活化
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減薄聚合物薄膜,例如 ABF、PI 等電漿去渣膠:雷射鑽孔後,清除EMC殘留物
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電漿去渣膠:雷射鑽孔後去除環氧模壓樹脂(EMC)殘餘物
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去除光阻或聚合物的殘留物
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特色:
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微波電源產生高密度電漿物種提高處理速度
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無電極電漿源可消除靜電損壞的風險(ESD)
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脈衝模式操作可降低加工溫度
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可選配自動化、SECS/GEM