腔體式
800C:低頻(LF,100~120 KHZ),搭配MPC,無蝶閥(Throttle valve)
800 II: 高頻(RF-radio frequency 13.56 MHZ),搭配MFC,有蝶閥
800 III:低頻(LF,100~120 KHZ),搭配MFC(Mass flow controller),有蝶閥
Plasmax – 800 C
腔體式/Chamber電將清洗全系列設備
Plasmax – 800 II/III
腔體式/Chamber電將清洗全系列設備
Plasmax – 800 A/B
腔體式/Chamber電將清洗全系列設備
Plasmax – 600 SD
腔體式/Chamber電將清洗全系列設備
Plasmax – 1000 N
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