腔體式​

800C:低頻(LF,100~120 KHZ),搭配MPC,無蝶閥(Throttle valve) 

800 II: 高頻(RF-radio frequency 13.56 MHZ),搭配MFC,有蝶閥 

800 III:低頻(LF,100~120 KHZ),搭配MFC(Mass flow controller),有蝶閥