腔體式​

800C:低頻(LF,100~120 KHZ),搭配MPC,無蝶閥(Throttle valve) 

800 II: 高頻(RF-radio frequency 13.56 MHZ),搭配MFC,有蝶閥 

800 III:低頻(LF,100~120 KHZ),搭配MFC(Mass flow controller),有蝶閥

Plasmax – 800 C

腔體式/Chamber電將清洗全系列設備 ​

Plasmax – 800 II/III

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Plasmax – 800 A/B

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Plasmax – 600 SD

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Plasmax – 1000 N

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